질소 발생장치에 적용하는 CMS(Carbon Molecular Sieves)는 야자껍질을 원료로 하여 3Å의 수많은 미세한 가공이 매우 균일하게 가공되어 있는 다공성 탄소계 흡착제로써 단시간 내에 산소를 선택 흡착하여 고순도의 질소만을 분리공급한다.
산소의 분자 간격은 질소보다 작으므로 미세한 CMS의 기공으로 빨리 확산되는 특징을 지닌다.
또한 흡착속도를 보면 산소는 질소보다 훨씬 높은 흡착율을 가지고 있으며 흡착압력이 높을수록 흡착성능(산소)이 증가한다.
공기압축기에서 압축된 공기는 드라이어와 필터 등 제습장치를 거쳐 제진, 제습이 되어 압축건조공기가 CMS가 충진되어 있는 흡착탑 하부로 들어가서 산소는 흡착되고 질소는 분리(통과)되면서 흡착탑 상부로 질소를 공급하게 된다.
이와 같이 흡착공정이 진행하는 동안 다른 흡착탑에서는 산소를 탈착하여 다시 재생할 수 있는 압력변화과정(PSA)을 반복하여 일정하고 연속적인 질소를 생산하게 된다. 이와 같은 방법이 PSA(압력변화흡착) 원리이다.